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図解でわかる 半導体製造装置 – 日本実業出版社 ~ きくち・まさのり (社)日本半導体製造装置協会専務理事。東大卒業後、日本電気(株)に入社。半導体デバイス・プロセスの開発と生産に従事。2002年5月より現職。主な著書に『半導体のすべて』『図解でわかる電子回路
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